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VSGSP26-200(X) 진공 소형 자동 스테이지
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| - 35~200mm의 롱 스트로크를 실현하여, 기존의 SGSP시리즈와 동일하게 콤팩트화를 실현했습니다.
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상세 사양
| Model | VSGSP26-200(X) |
| MAX Speed | 20mm/sec |
| Positional Repeatability | 10μm |
| Axes of Travel | X Axis |
| Stage Material | Aluminium |
| Censer type | GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.) |
| Sensor Part Number | GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.) |
| Stage Size | 80×80mm |
| Resolution (Half) | 1μm/pulse |
| Resolution (Full) | 4μm/pulse |
| Limit Sensor | Vacuum touch sensor (NORMAL CLOSE) |
| Lost Motion | 10μm |
| Positioning Slide | Crossed roller |
| Travel | 200mm |
| Proximity Origin Sensor | None |
| Origin Sensor | None |
| Minimum Incremental Motion (refurence) | 0.2μm |
| Weight | 2.5kg |
| Feed Screw | Precision ground screw φ4mm, 0.5mm lead |
| Load Capacity | 29.4N(3.0kgf) |
| Finish | None |
| Resolution (Full) | 0.5μm/pulse |
| Resolution (Half) | 2μm/pulse |
| 상품명 | VSGSP26-200(X) 진공 소형 자동 스테이지 |
|---|---|
| 상품요약정보 | 진공 환경에 대응한 리미트 센서를 탑재한 자동 스테이지입니다. |
| 판매가 | 10,150,800원 |
| 국내·해외배송 | 국내배송 |
| 배송방법 | 택배 |
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