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FS-1020SPX 5nm Feedback Stage
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| - 5nm 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. - FS-UPX 시리즈는, 고토크 타입의 FS-SPX 시리즈에 비해 고속으로 동작합니다. - 위치의 검출에는 시그마코키사에서 개발한 광학식 리니어 인코더를 스테이지 중앙에 내장하고 있습니다. - 인코더의 위치 정보를 사용하여 피드백 제어를 하면 목표 위치로의 위치 결정, 반복 위치 결정(위치 재현성), 위치 결정 유지가 고분해능으로 가능합니다. - 이동량은 20mm, 50mm 두 가지 타입으로 구성되어 있습니다. |
| Stage Size | 60×60mm |
| Maximum Travel Speed | 10μm |
| Travel | 20mm |
| Positional Repeatability *1 | ±10nm |
| Minimum Resolution *1 | 5nm |
| Availability | 5mm/sec |
| Weight | 0.5㎏ |
| Feed Screw | Ball screw diameter φ4mm, 1mm lead |
| Load Capacity | 49N(5kgf) |
| 상품명 | FS-1020SPX 5nm Feedback Stage |
|---|---|
| 상품요약정보 | 5nm 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. |
| 판매가 | 5,710,100원 |
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