해당 제품은 일본 수입품으로 제품 가격은 일본 엔화이며, 추가적으로  수입부대비용이 추가됩니다.
제품이 필요하신 고객분들은 전화(070-8779-4378)나 메일(webmaster@shkorea.net)로 견적을 요청하시기 바랍니다.

해당 제품은 일본 수입품으로 제품에 문제가 없으면 교환/환불이 불가합니다.

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특징
- 5nm 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다.
- FS-UPX 시리즈는, 고토크 타입의 FS-SPX 시리즈에 비해 고속으로 동작합니다.
- 위치의 검출에는 시그마코키사에서 개발한 광학식 리니어 인코더를 스테이지 중앙에 내장하고 있습니다.
- 인코더의 위치 정보를 사용하여 피드백 제어를 하면 목표 위치로의 위치 결정, 반복 위치 결정(위치 재현성), 위치 결정 유지가 고분해능으로 가능합니다.
- 이동량은 20mm, 50mm 두 가지 타입으로 구성되어 있습니다.

상세 사양
Stage Size60×60mm
Maximum Travel Speed10μm
Travel20mm
Positional Repeatability *1±10nm
Minimum Resolution *15nm
Availability5mm/sec
Weight0.5㎏
Feed ScrewBall screw diameter φ4mm, 1mm lead
Load Capacity49N(5kgf)