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- 진공 환경에 대응하는 자동 회전 스테이지입니다.
- φ60mm의 공간 절약에 대응한 소형 타입은 실험용, 검사 장치의 챔버 내에서 사용에 매우 적합합니다. - φ120mm는 진공 환경에 대응하는 리미트 센서를 탑재했고, 슬림형이면서도 □42mm 대형 모터를 채택하여 높은 내하중을 실현합니다. |
Stage Size | φ120mm |
MAX Speed | 20°/sec |
Positional Repeatability | 0.02° |
Axes of Travel | X Axis |
Stage Material | Aluminium |
Censer type | GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.) |
Resolution (Full) | 0.005°/pulse |
Resolution (Half) | 1μm/pulse |
Limit Sensor | Vacuum touch sensor (NORMAL CLOSE) |
Lost Motion | 0.05° |
Positioning Slide | Crossed roller |
Travel Mechanism | Worm and worm wheel |
Rotation Range | Counterclockwise CCW direction to ∞, Clockwise CW direction stops at near 0 degree (−2.5°) |
Proximity Origin Sensor | None |
Origin Sensor | None |
Minimum Incremental Motion (refurence) | 0.5mdeg |
Weight | 1.7kg |
Feed Screw | Precision ground screw φ4mm, 0.5mm lead |
Load Capacity | 29.4N(3.0kgf) |
Finish | None |
Resolution (Half) | 0.0025°/pulse |
Resolution (Full) | 0.5μm/pulse |