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일본어메뉴얼(SHRC-203) SHOT_FC_mode |
일본어메뉴얼(SHRC-203) HIT_mode |
- 오픈 타입의 5상 스태핑 모터를 탑재한 자동 스테이지부터 1nm 나노 스테이지까지 제어항 수 있는 컨트롤러입니다. - 5상 스테핑 모터 구동용 드라이버를 내장한 각 축을 독립적으로 3축 풀 클로즈드 루프 및 오픈 루프 제어가 가능한 스테이지 컨트롤러입니다. - USB/GP-IB/Ethernet 인터페이스에 의한 외부 제어, 프론트 패널 또는 핸디 터미널에 의한 수동 조작, 내장 프로그램(8뱅크)에 의한 제어가 가능합니다. - 핸디 터미날 종류입니다. (JS-301, JB-401, JD-101, MD-400) - 글라스 스케일 내장 스테이지와 조합 풀 클로즈드 제어가 가능합니다. - 샘플 소프트웨어는 자료실에서 다운 받을 수 있습니다. --> 자료실 가기 - 컨트롤러 메뉴얼은 자료실에서 다운받으실 수 있습니다. --> 자료실 가기 |