계산서 발급을 원하시는 분은 메일로 사업자 등록증을 보내주시면 거래 명세서와 계산서를 발급하여 보내드리겠습니다.
일부 제품은 재고 판매가 가능하지만, 주문 후 일본 수입이 진행되어 납품 일정은 주문 후 알려드리며, 추후 조정이 가능합니다.
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| - 10nm 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. - 이동량이 크기 때문에 광범위하게 데이터를 취득하고 싶은 경우나 샘플의 정밀한 위치 결정과 이동을 1대의 스테이지에서 실시하고 싶은 경우에 최적입니다. - FS-UPX 시리즈는 고속 타입, FS-SPX 시리즈는 고토크 타입으로 동작합니다. - 위치의 검출에는 시그마코키사에서 개발한 광학식 리니어 인코더를 스테이지 중앙에 내장하고 있습니다. - 인코더의 위치 정보를 사용하여 피드백 제어를 하면 목표 위치로의 위치 결정, 반복 위치 결정(위치 재현성), 위치 결정 유지가 고분해능으로 가능합니다. - 이동량은 20mm, 50mm, 100mm, 150mm, 200mm 다섯 가지 타입으로 구성되어 있습니다. |
| Stage Material | Aluminium |
| Stage Size | 175x120mm |
| Backlash | 1μm |
| Pitch | 15″ |
| Moment Stiffness / Pitch | 0.05″/N･cm |
| Moment Stiffness / Yaw | 0.05″/N･cm |
| Moment Stiffness / Roll | 0.05″/N･cm |
| Yaw | 15″ |
| Lost Motion | 0.5μm |
| Positioning Accuracy | 2μm *2 |
| Positioning Slide | Crossed roller |
| Travel | 100mm |
| Positional Repeatability | 0.5μm *2 |
| Minimum Incremental Motion (reference) | 30nm |
| Weight | 4.0kg |
| Running Parallelism | 10μm |
| Feed Screw | Ball screw diameter φ8mm, 1mm lead |
| Load Capacity | 98N（10.0kgf） |
| Finish | Black anodized |
| Resolution (Full) | 2μm/pulse *1 |
| Resolution (Half) | 1μm/pulse *1 |
| Parallelism | 50μm |
| Motor / Motor Type | 5-phase stepping motor 0.75A/phase（Oriental Motor Co., Ltd.） |
| Motor / Motor Part Number | PK545NBW (□42mm) |
| Scale Resolution | 10nm |
| Micro-range Bi-directional Repeatability | ±20nm *3 |
*1 Resolution is automatically set by “AutoConfig” when SHRC controller is connected.
*2 Values when the multi-point error compensation function is enabled.
*3 Micro-range Bi-directional Repeatability is a test to measure repetitive positioning accuracy (ISO) in a micro range. Measurement step for 10 nm feedback stage (NFS-PX series): 50 nm