계산서 발급을 원하시는 분은 메일로 사업자 등록증을 보내주시면 거래 명세서와 계산서를 발급하여 보내드리겠습니다.
일부 제품은 재고 판매가 가능하지만, 주문 후 일본 수입이 진행되어 납품 일정은 주문 후 알려드리며, 추후 조정이 가능합니다.
카탈로그 다운|
한글카탈로그
|
도면 다운로드
| - 투과홀 XY 파인 스테이지 - 디지털 센서를 채택하여 고정밀, 고강성, 하이 스피드를 추구하여 이론 분해능 1nm의 미동을 실현하는 피에조 스테이지입니다. - 액츄에이터에 피에조 소자와 위치 피드백에 디지털 센서를 탑재한 50 × 50mm의 개구부를 가진 초고정밀 위치 결정 투과형 XY 스테이지 - 주로 현미경 하의 시료의 미동에 적합합니다. - 시그마 파인 스테이지용 컨트롤러 FINE-503으로 구동할 수 있습니다. - 컨트롤러가 RS232C, GP-IB(FINE-503만), USB 인터페이스를 지원합니다. - PC에서 계측 및 제어 소프트웨어인 SGEMCS, SGTERM 및 SGSFSX를 사용하여 쉽게 위치를 제어할 수 있습니다. - 각종 현미경의 내장, 정밀 계측, 반도체 검사 장치, 고정밀 마스크 위치 결정, 주사형 간섭계, 화상 처리 장치, 바이오 관련 장치 등의 용도에 매우 적합합니다. - Closed Loop시 이동량은, Open Loop시보다 약 20% 저감됩니다. |
상세 사양
| Actuator | Piezo actuator |
| Axes of Travel | Rotation |
| Stage Size | 120×120mm |
| Linearity | － |
| Travel (at open-loop control) | 100μm±10% |
| Positional Repeatability | ＜0.1μm |
| Weight | 1.2kg |
| Perpendicularity (Horizontal Direction) | ＜1μm |
| Compatible Cable | FINE-CA-3: For piezo |
| DS1-CA-3: For digital sensor | |
| Load Capacity | 19.6N(2.0kgf) |
| Micro-displacement Sensor | Digital Sensor |
| Resolution (closed-loop) | 10nm |