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특징
- 수동 스테이지 본체에 피에조 어시스트 기구를 추가하면 20nm 이하의 미동 조정을 할 수 있는 수직면 장착 타입의 Z축 스테이지입니다.
- 고분해능에서의 위치 조정이 필요한 수동 스테이지 유닛이나 시스템에 매우 적합합니다.
- 스테이지 크기 25x25, 40x40, 60x60, 65X65 mm를 갖추고 있습니다.
- 피에조 어시스트 스테이지 전용 컨트롤러는 설정할 필요 없이 간편하게 미동 조정을 할 수 있습니다.
- 다이얼식 노브의 미동 조정은, 마이크로 미터 헤드와의 병용으로도 저항 없이 사용할 수 있습니다.
-  미동 기구의 조정에는, 피에조 어시스트 전용 컨트롤러(PASC)를 사용하십시오.
- 피에조 어시스트 스테이지에는 피에조 어시스트 컨트롤러 전용 접속 케이블(2m)이 포함되어 있습니다.
- 피에조 어시스트 기구가 파손될 우려가 있어서 스테이지 설치시 마이크로 앞으로 충격을 주지 않도록 주의해야 합니다.
-  피에조 어시스트 전용 컨트롤러(PASC)의 전원을 OFF로 하면, 피에조 어시스트의 위치 조정이 변화하고, 미동 조정 분의 위치 차이가 발생합니다.
상세 사양
Stage Size25×25mm
Piezo resolution<20nm
Micrometer Readable Resolution0.01mm
Micrometer PositionSide
Moment Stiffness / Pitch6.0″/Ncm
Guide MethodExtended Contact Ball Bearing Guide
Travel Accuracy / Straightness3μm
Running Parallelism20μm
Lead of Actuator0.5mm
Max. Moment Capacity / Pitch1.47Nm
Max. Moment Capacity / Roll1.47Nm
Weight0.07kg
Primary materialAluminum
Travel of Coarse Drive±3mm
Load Capacity9.8N(1.0kgf)
Travel of Fine Drive>25μm
FinishBlack anodized