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| - 서브미크론의 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. - 위치 검출은 자체 개발한 광학식 리니어 인코더를 스테이지 중앙에 내장했습니다. - 이 인코더의 위치 정보를 사용하여 피드백 제어를 하면 목표 위치로의 위치 결정, 반복 위치 결정(위치 재현성), 위치 결정 유지가 고분해능으로 가능합니다. - 이동량은 7 종류 라인 업으로 400mm, 300mm, 200mm, 150mm, 100mm, 50mm, 20mm입니다. - 이동량이 크기 때문에 광범위하게 데이터를 취득하고 싶은 경우나 샘플의 정밀한 위치 결정과 이동을 1대의 스테이지에서 실시하고 싶은 경우에 최적입니다. |
| Stage Size | 120×170mm |
| Driving Motor | □28mm 5 phase stepping motor |
| Maximum Travel Speed | 10μm |
| Positioning Slide | LM Guide |
| Travel | 150mm |
| Positional Repeatability *1 FC-411 | ±100nm |
| Positional Repeatability *1 FC-414 | － |
| Minimum Resolution *1 FC-411 | 50nm |
| Minimum Resolution *1 FC-414 | － |
| Availability | 10mm/sec |
| Weight | 2.8㎏ |
| Feed Screw | Ball screw diameter φ8mm |
| Load Capacity | 98N(10kgf) |