해당 제품은 일본 수입품으로 제품 가격은 일본 엔화이며, 추가적으로  수입부대비용이 추가됩니다.
제품이 필요하신 고객분들은 전화(070-8779-4378)나 메일(webmaster@shkorea.net)로 견적을 요청하시기 바랍니다.

해당 제품은 일본 수입품으로 제품에 문제가 없으면 교환/환불이 불가합니다.

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특징
- 10nm 피드백 스테이지(FS-PX 시리즈)를 10nm 분해능으로 제어하는 전용 컨트롤러입니다.
- 각종 에러 검출 기능 및 범용 I/O, 티칭 기능으로 안전성 및 작업성이 높은 제품입니다.
- 나노스테이지 컨트롤러 조작 가이드 동영상(일본어 입니다. 추후 영문으로 준비하겠습니다)
   (표시 및 조작편) --> 영상 보러가기
   (통신 조작편)     --> 영상 보러가기
   (파라미터편)      --> 영상 보러가기
   (TEACH 조작편)  --> 영상 보러가기

- 샘플 소프트웨어는 자료실에서 다운 받을 수 있습니다.       --> 자료실 가기
- 컨트롤러 메뉴얼은 자료실에서 다운받으실 수 있습니다.     --> 자료실 가기
상세 사양
ModelFC-514
In Position Range+/- 10nm (+/- 30, +/- 70nm selectable)
Slow Down Sensor InputApplicable
Minimum Command Unit10nm
Max Travel Range Set Value-1342.17728～+1342.17727mm
Max Operating Speed Set Value50mm/sec
Number of Control Axes2 axes