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| - 10nm 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. - 이동량이 크기 때문에 광범위하게 데이터를 취득하고 싶은 경우나 샘플의 정밀한 위치 결정과 이동을 1대의 스테이지에서 실시하고 싶은 경우에 최적입니다. - FS-UPX 시리즈는 고속 타입, FS-SPX 시리즈는 고토크 타입으로 동작합니다. - 위치의 검출에는 시그마코키사에서 개발한 광학식 리니어 인코더를 스테이지 중앙에 내장하고 있습니다. - 인코더의 위치 정보를 사용하여 피드백 제어를 하면 목표 위치로의 위치 결정, 반복 위치 결정(위치 재현성), 위치 결정 유지가 고분해능으로 가능합니다. - 이동량은 20mm, 50mm, 100mm, 150mm, 200mm 다섯 가지 타입으로 구성되어 있습니다. |
| Stage Size | 160×230mm |
| Maximum Travel Speed | 10μm |
| Positioning Slide | LM Guide |
| Travel | 200mm |
| Positional Repeatability *1 | ±20nm |
| Minimum Resolution *1 | 10nm |
| Availability | 20mm/sec |
| Weight | 5.0㎏ |
| Feed Screw | Ball screw diameter φ10mm, 2mm lead |
| Load Capacity | 196N(20kgf) |