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VSGSP-60YAW 진공 자동 회전 스테이지
| 판매가 | 6090700 |
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| - 진공 환경에 대응하는 자동 회전 스테이지입니다.
- φ60mm의 공간 절약에 대응한 소형 타입은 실험용, 검사 장치의 챔버 내에서 사용에 매우 적합합니다. - φ120mm는 진공 환경에 대응하는 리미트 센서를 탑재했고, 슬림형이면서도 □42mm 대형 모터를 채택하여 높은 내하중을 실현합니다. |
상세 사양
| Stage Size | φ60mm |
| MAX Speed | 20°/sec |
| Positional Repeatability | 0.02° |
| Axes of Travel | X Axis |
| Stage Material | Aluminium |
| Censer type | GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.) |
| Resolution (Full) | 0.005°/pulse |
| Resolution (Half) | 1μm/pulse |
| Limit Sensor | Vacuum touch sensor (NORMAL CLOSE) |
| Lost Motion | 0.05° |
| Positioning Slide | Crossed roller |
| Travel Mechanism | Worm and worm wheel |
| Rotation Range | In the CW or CCW direction to ∞ |
| Proximity Origin Sensor | None |
| Origin Sensor | None |
| Minimum Incremental Motion (refurence) | 0.5mdeg |
| Weight | 0.45kg |
| Feed Screw | Precision ground screw φ4mm, 0.5mm lead |
| Load Capacity | 29.4N(3.0kgf) |
| Finish | None |
| Resolution (Half) | 0.0025°/pulse |
| Resolution (Full) | 0.5μm/pulse |
| 상품명 | VSGSP-60YAW 진공 자동 회전 스테이지 |
|---|---|
| 상품요약정보 | 진공 환경에 대응하는 자동 회전 스테이지입니다. |
| 판매가 | 6,090,700원 |
| 국내·해외배송 | 국내배송 |
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