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SFS-OBL-1 Objective Lens Piezo Actuator

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특징
- 대물 렌즈용 파인 액추에이터
- 액추에이터에 피에조 소자와 피드백용으로 디지털 센서를 탑재한 현미경형 대물 렌즈용 액추에이터입니다.
- 정립형 현미경용으로는 SFS-OBL을 사용하고, 도립 현미경용으로는 SFAI-OBL을 사용합니다.
- 소형으로 고속, 고분해능 위치 결정이 가능합니다.
- 이동량은 Open하여 100μm ± 15%입니다. Closed Loop제어 시에는 이동량이 20% 저감됩니다.
- 각종 현미경으로의 임베디드를 고려하여 정립형 2종류와 도립형을 준비하고 있습니다.
- 시그마 정밀(파인) 스테이지 시리즈와 같이 컨트롤러(FINE-01γ/503 (CL))로 구동할 수 있습니다.

- RS232C, GP-IB(FINE-503(CL)만 해당), USB 인터페이스를 지원합니다.
- PC에서 계측 및 제어 소프트웨어인 SGADVANCE를 사용하여 간단히 위치를 제어할 수 있습니다.
- 각 메이커의 대물렌즈 나사 사이즈에 맞추어 어댑터도 준비되어 있습니다.
- SFS-OBL-2는, 금속 봉입 타입의 피에조 액튜에이터를 채용하여 SFSOBL-1에 비해 습도 등 내환경 성능이 향상되었습니다.
Closed Loop시 이동량은, Open Loop시보다 약 20% 저감됩니다.

상세 사양
Actuator Piezo element
Travel (at open-loop control) 100μm±15%
External Dimensions W75.5×H45×D40mm
Positional Repeatability <0.1μm
Weight 0.15kg
Straightness (Xy Xz Yx Yz) <1μm
Compatible Adapter OBL-ADP-**
Objective Lens Diameter Diameter φ39mm or less
Load Capacity
Micro-displacement Sensor Digital Sensor
Accessories Cable (2m)
Resolution (closed-loop) 10nm
Theoretical Resolution (open-loop 1nm
상품 상세 정보
상품명 SFS-OBL-1 Objective Lens Piezo Actuator
상품요약정보 - 액추에이터에 피에조 소자와 피드백용으로 디지털 센서를 탑재한 현미경형 대물 렌즈용 액추에이터입니다.
판매가 4,567,200원
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