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SFS-H40Z(CL) Sigma Fine (Piezo) Stage
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| - 시그마 파인 스테이지(고강성 타입) - 디지털 센서를 채택하여 고정밀, 고강성, 하이 스피드를 추구하여 이론 분해능 1nm의 미동을 실현하는 피에조 스테이지입니다. - 디지털 센서를 채택하여 Full-Closed 제어가 가능하므로 고정밀, 고분해능 위치 결정 가능한 피에조 스테이지입니다. - 피에조 소자를 액추에이터로 채택하여 오픈 제어로 이동량 90μm~100μm, 이론분해능 1nm의 미동을 실현합니다. - 폐쇄제어 시에는 이동량이 20% 저감됩니다. - 위치 검출 센서에 디지털 센서(주파수→디지털 변환 방식 미소 변위 센서)를 채택하여 풀 클로즈돌프 제어 시 표시 분해능은 10nm입니다. - 시그마코키사의 컨트롤러 FINE 시리즈를 사용하여 고속화를 실현할 수 있습니다. - 반복 주파수는 SFS-H(직동)에 있어서, 반복 주파수 10~15Hz를 실현 FINE-01γ의 아날로그 입력을 이용하면 25Hz를 실현합니다. |
상세 사양
| Actuator | Piezo actuator |
| Axes of Travel | Z Axis |
| Stage Size | 40×40mm |
| Linearity | ＜0.3% |
| Travel (at open-loop control) | 100μm±15% |
| Positional Repeatability | ＜0.1μm |
| Weight | 0.28kg |
| Perpendicularity (Horizontal Direction) | 1μm |
| Compatible Cable | Attached cable (2m) |
| Load Capacity | 6.7N(0.7kgf) |
| Micro-displacement Sensor | Digital Sensor |
| Resolution (closed-loop) | 10nm |
| Theoretical Resolution (open-loop | 1nm |
| 상품명 | SFS-H40Z(CL) Sigma Fine (Piezo) Stage |
|---|---|
| 상품요약정보 | 디지털 센서를 채택하여 고정밀, 고강성, 하이 스피드를 추구하여 이론 분해능 1nm의 미동을 실현하는 피에조 스테이지입니다. |
| 판매가 | 3,172,400원 |
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