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NFS120-50X 50nm Feedback Stage
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| - 5상 스테핑 모터, 내장 글라스 스케일이 포함된 고해상도 피드백 스테이지로 내장된 광학 글라스 스케일은 높은 위치 반복성과 고해상도를 제공합니다. - 50nm 피드백 단계는 8가지 테이블 크기로 제공됩니다. - 볼 나사 드라이브는 피에조 스테이지보다 긴 이동이 가능하며, 다양한 이동 및 테이블 크기를 선택할 수 있습니다. - 사용자 편의를 위해 "Autoconfig" 기능을 위한 플러그인이 장착되어 있고, 피드백 단계(NFS 시리즈)와 호환되는 컨트롤러를 사용할 수 있습니다. - Feedback Stage(NFS 시리즈)와 호환되는 컨트롤러(SHRC-203)를 사용합니다. - 샘플 소프트웨어는 자료실에서 다운 받을 수 있습니다. --> 자료실 가기 - 작동 시 온도 변동이 적은 환경에서 사용(권장치 : 23±1℃)하고, 진동이 적은 환경에서 제품을 사용하십시오. - 오일 미스트가 없는 환경에서 사용하지 않으면 글라스 스케일이 오염되어 스케일 오류가 발생할 수 있습니다. - 테이블 표면의 크기보다 큰 작업물을 장착하려면 문의하시길 바랍니다. |
| Travel | 50mm |
| Stage Size | 120x120mm |
| Feed Screw | Ball screw diameter φ8mm, 1mm lead |
| Positioning Slide | Crossed roller |
| Stage Material | Aluminium |
| Finish | Black anodized |
| Weight | 3.0kg |
| Resolution (Full) | 2μm/pulse *1 |
| Resolution (Half) | 1μm/pulse *1 |
| MAX Speed | 10mm/sec |
| Positioning Accuracy | 1μm *2 |
| Positional Repeatability | 0.5μm *2 |
| Micro-range Bi-directional Repeatability | ±100nm *3 |
| Minimum Incremental Motion (reference) | 150nm |
| Load Capacity | 98N（10.0kgf） |
| Moment Stiffness / Pitch | 0.05″/N･cm |
| Moment Stiffness / Yaw | 0.05″/N･cm |
| Moment Stiffness / Roll | 0.05″/N･cm |
| Lost Motion | 0.5μm |
| Backlash | 1μm |
| Parallelism | 50μm |
| Running Parallelism | 10μm |
| Pitch | 15″ |
| Yaw | 15″ |
| Motor / Motor Type | 5-phase stepping motor 0.75A/phase（Oriental Motor Co., Ltd.） |
| Motor / Motor Part Number | PK545NBW（□42mm） |
| Scale Resolution | 50nm |
*1 Resolution is automatically set by “AutoConfig” when SHRC controller is connected.
*2 Values when the multi-point error compensation function is enabled.
*3 Micro-range Bi-directional Repeatability is a test to measure repetitive positioning accuracy (ISO) in a micro range. Measurement step for 1 nm feedback stage (NFS-UPX series): 5 nm
| 상품명 | NFS120-50X 50nm Feedback Stage |
|---|---|
| 상품요약정보 | 5상 스테핑 모터, 내장 글라스 스케일이 포함된 고해상도 피드백 스테이지로 내장된 광학 글라스 스케일은 높은 위치 반복성과 고해상도를 제공합니다. |
| 판매가 | 5,075,400원 |
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