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HDS-80YAW 내구성 자동 회전스테이지
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| - 시료마다 미세한 회전 각도를 조정하는 자동 얼라인먼트 장치 등의 용도에 매우 적합합니다. - 시그마코키사의 Ball Screw System Drive Mechanism으로 마모 및 백래시를 줄여 높은 내구성을 높이게 됩니다. - 스틸벨트를 이용하여 Ball Screw의 선형운동을 회전운동으로 변환하기 때문에 전 이동범위에서 각도와 해상도가 동일합니다. - HDS 시리즈의 원점 센서는 스트로크의 중심(0°) 부근에 있습니다. - HDS 시리즈는 항상 수평면에 설치하여 사용해야 합니다. 거꾸로 설치하거나 수직면에 장착했을 경우는, 성능을 보증할 수 없습니다. |
상세 사양
| Stage Size | φ80mm |
| MAX Speed | 60°/sec |
| Stage Material | Aluminium |
| Sensor Part Number | Micro photo sensor : GP1S097HCZ(Sharp Corporation) |
| Backlash | 0.05° |
| Resolution (Half) | about 0.0019°/pulse |
| Resolution (Full) | about 0.0038°/pulse |
| Moment Stiffness | 0.2″/N･cm |
| Limit Sensor | Equipped (NORMAL CLOSE) |
| Lost Motion | 0.003° |
| Positioning Accuracy | 0.05° |
| Positioning Slide | Bearing method |
| Travel Mechanism | Ball screw with steel belt |
| Rotation Range | ±5° |
| Proximity Origin Sensor | None |
| Positional Repeatability | 0.003° |
| Origin Sensor | Equipped (NORMAL OPEN) |
| Minimum Incremental Motion (refurence) | 0.5mdeg |
| Weight | 1.3kg |
| Load Capacity | 58.8N(6.0kgf) |
| Concentricity | 10μm |
| Finish | Black anodized |
| Parallelism | 50μm |
| Wobble | 0.01mm |
| Sensor / Output Logic | 遮光時 ： 出力トランジスタOFF（非導通）：リミットセンサ |
| 遮光時：出力トランジスタON（導通）：原点センサ | |
| Sensor / Current Consumption | 60mA以下（1センサあたり20mA以下） |
| Sensor / Control Output | NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 |
| Sensor / Power Voltage | DC5～24V±10％ |
| Motor / Motor Step Angle | 0.72° |
| Motor / Motor Type | HDS-60YAW：5相ステッピングモータ 0.75/相 （多摩川精機㈱） |
| HDS-80YAW、HDS-120YAW：5相ステッピングモータ 0.75A/相 （オリエンタルモーター㈱） | |
| Motor / Motor Part Number | HDS-60YAW：TS3664N4E10（□24mm） |
| HDS-80YAW、HDS-120YAW：PK523HPB-C12（□28mm） | |
| Compatible Controller | GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103 |
| Compatible Driver | SG-5M､SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL |
| 상품명 | HDS-80YAW 내구성 자동 회전스테이지 |
|---|---|
| 상품요약정보 | 반도체 웨이퍼의 마카 등의 얼라인먼트에 사용하는 미세 각 조정용 자동 회전 스테이지입니다. |
| 판매가 | 2,537,700원 |
| 국내·해외배송 | 국내배송 |
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