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- 서브미크론의 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. - 위치 검출은 자체 개발한 광학식 리니어 인코더를 스테이지 중앙에 내장했습니다. - 이 인코더의 위치 정보를 사용하여 피드백 제어를 하면 목표 위치로의 위치 결정, 반복 위치 결정(위치 재현성), 위치 결정 유지가 고분해능으로 가능합니다. - 이동량은 7 종류 라인 업으로 400mm, 300mm, 200mm, 150mm, 100mm, 50mm, 20mm입니다. - 이동량이 크기 때문에 광범위하게 데이터를 취득하고 싶은 경우나 샘플의 정밀한 위치 결정과 이동을 1대의 스테이지에서 실시하고 싶은 경우에 최적입니다. |
Stage Size | 160×160mm |
Driving Motor | □42mm 5 phase stepping motor |
Maximum Travel Speed | 10μm |
Positioning Slide | LM Guide |
Travel | 400mm |
Positional Repeatability *1 FC-411 | - |
Positional Repeatability *1 FC-414 | ±100nm |
Minimum Resolution *1 FC-411 | - |
Minimum Resolution *1 FC-414 | 50nm |
Availability | 20mm/sec |
Weight | 9.5㎏ |
Feed Screw | Ball screw diameter φ14mm |
Load Capacity | 196N(20kgf) |
상품명 | FS-3400X Sub Micron Feedback Stage |
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상품요약정보 | 서브미크론의 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. |
판매가 | 10,785,500원 |
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